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一、高纯气体、特种气体供应设施安装
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01、高纯气体、特种气体管道及其阀门、附件等的材质应符合工程设计文件的要求。采用低碳不锈钢管时,其安装施工应符合本规范第7.4节的规定。
02、管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密性、泄漏性试验和纯度测试。
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二、纯水供应设施安装
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01、纯水供应设施安装前,应按工程设计文件和产品说明书的要求检查、核对设备及填充的材料、阀门和管件的完整性、密封性,并应做好检查、核对记录。
02、纯水管道及其阀门、附件的材质,应按工程设计文件和产品生产要求进行选择。
03、管道清洗时,应关断所有接至单体设备的阀门,管道系统的过滤器滤芯应卸下,并应待清洗合格后原样恢复。
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三、化学品供应设施安装
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01、化学品供应设施安装前,应按设计文件和产品说明书的要求检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等,并应做检查记录。
02、化学品供应设施中的各类泵的安装施工,应符合现行国家标准《风机、压缩机、泵安装工程施工及验收规范》GB 50275的有关规定。
03、化学品供应设施的容器、管道及其阀门、附件的材质应符合工程设计文件要求。