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一、设备安装
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01、安装生产工艺设备前,洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h,照明系统应已正常工作,且现场应有便捷电源供应。
02、大型、特殊要求的生产设备,应按设计要求在净化空调系统安装前就位,可按本规范附录A进行。
03、洁净室(包括风淋室)应已启用,并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程。
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二、二次配管配线
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01、生产设备应在找正、调平并经检验合格后,再进行设备所需水、电、气、排风等二次配管配线施工。
02、二次配管配线的主材应与生产工艺设备一致,各种垫料、填料等辅材应与相关配管配线的工程设计一致,并应采用密封性能好且不产尘的材料。
03、二次配管预制作业应在专设的防尘、防静电的洁净工作小室内进行,加工件应经洁净处理后密封搬入洁净室(区)内。
04、碳钢支、吊架应采用镀锌材料,切割端面亦应做防锈处理,安装应牢固可靠;不锈钢管与碳钢支架、管卡之间应分别设隔离垫和隔离套管,隔离垫宜用软质聚四氟乙烯板,套管宜用聚乙烯软管。
05、二次配管完成后,不宜进行冲洗或吹洗、严密性试验。若需要时,应根据生产设备和厂房内配管连接状况制订安全技术措施,并应经批准后再实施。